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特种加工

气相沉积技术

时间：2012/1/12 8:13:52   作者：未知   来源：网络文摘   阅读：391   评论：0
气相沉积技术是利用气相中发生物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合笏涂屋。按沉积的主要属性可分为化学气体沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD），等离子体被引入化学气体沉积技术后，便形成等离子化学气相沉积（PCVD）
气相沉积在工件表面覆盖一层厚度为0.5-10um的过渡族元素（Ti,V,Cr,W,Nb等)的碳、氧、氮、硼化合物或单一的金属及非金属涂层。

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